半導體設備韓國LS中空軸APM-HB03HBH-SV

韓國邁克彼恩Mecapion ，其前身為韓國麥特斯Metronix 株式會社成立于1995年，于2007年3月份正式更名為邁克彼恩Mecapion，是韓國zui大的自動化設備及機械裝置方面的核心部件即旋轉編碼器、伺服系統(tǒng)等產(chǎn)品的開發(fā)研制、生產(chǎn)、銷售和售后服務的高新技術企業(yè)，并獲得了ISO9001質量體系認證。產(chǎn)品已廣泛應用于冶金、電機、電梯、輕工機械、噴繪、紡織、半導體等行業(yè)，在韓國電機驅動和運動控制行業(yè)處于。其中伺服控制技術，在整合了歐系和日系伺服系統(tǒng)的各自優(yōu)點的基礎上不斷進行創(chuàng)新和開發(fā)，使得伺服產(chǎn)品日益完善。 

邁克彼恩Mecapion 擁有伺服電機、編碼器以及伺服驅動器等核心技術的自主開發(fā)能力，先進的開發(fā)技術加上的制造工藝使得邁克彼恩Mecapion 的產(chǎn)品有很好的性價比，能夠滿足不同行業(yè)用戶的應用要求。

伺服產(chǎn)品功率從30W到37KW范圍廣，電機法蘭大小從40到220，編碼器反饋可以選擇增量型和值型，電機軸輸出形式多樣供用戶選擇。的性能和選擇的多樣性，使得邁克彼恩Mecapion 伺服產(chǎn)品可以充分滿足各種行業(yè)的需要，得到了越來越多的用戶的認可和支持。同時供貨期短，服務專業(yè)細致，也成為了邁克彼恩Mecapion 產(chǎn)品在市場中強有力的核心競爭力。

開發(fā)完成半導體設備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機適用于涂膠，顯影及清洗工程

實現(xiàn)率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據(jù)客戶的要求，定做各種SPinner電機

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封，強化耐環(huán)境性

表面進行特殊涂布處理，強化耐腐蝕性

應用范圍：

　　1，半導體制造工業(yè)

　　2，設備應用

　　A.曝光顯影設備(涂膠，顯影)光刻加工程序的主要設備及掌控涂層，曝光，顯影。

　　B.清洗、蝕刻設備用于蝕刻，清洗，去膜設備。

　　C.清洗設備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。

　　技術含量

　　設備條件

　　高轉速(5000rpm~8000rpm)真空軸

　　加/減速時間冷卻系統(tǒng)(水冷系統(tǒng))

　　低噪音和振動zui低公差

　　中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制

　　采用重疊設計是尺寸zui小化

LS中空軸APM-HB03HBH-SV圖片

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